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什么是无油超高真空机组,这几点优势不要错过了!
罗茨
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广泛地应用于单晶炉、铸锭炉的配套上,以及镀膜、电工、冶炼、化工、陶瓷、航空、实验室等多种场合的真空镀膜、真空干燥、真空脱气、真空浸渍、真空钎焊、真空热处理、真空浓缩、真空反应、高空模拟试验等,它不能单独使用,它可与滑阀真空泵、螺杆真空泵、旋片真空泵、水环真空泵等前级泵组成真空机组使用,获得更好的真空,更高的抽气效率。
无油超高真空机组:
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油超高真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等,可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较,它有如下优点:
①可获得清洁真空、无污染源;
②当无油真空泵启动后,即可隔离预抽泵;
③如突然抽气停止,不会污染系统;
④无油、无声、无振动,改善了工作环境;
⑤极限真空度高,抽速大,抽气时间短。
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